微量水分析仪的敏感元件是水感性石英晶体，它是在石英晶体表面涂覆了一层对水敏感(容易吸湿也容易脱湿)的物质。当湿性样品气通过石英晶体时，石英表面的涂层吸收样品气中的水分，使晶体的质量增加，从而使石英晶体的振荡频率降低。然后通入干性样品气，干性样品气萃取石英涂层中的水分，使晶体的质量减小，从而使晶体的振荡频率增高。在湿气和干气两种状态下振荡频率的差值，与被测气体中水分含量成比例。由于吸附和脱附的交替转换，使晶体表面质量发生变化，从而振荡频率发生变化，水分浓度通过测量晶体振荡频率的变化而被测出来。
校验时，干气通过内部的水分发生器，加入一定量的水分，形成校验用的标气。传感器交替通入干参比气和水分发生器来的标准气，测量出标准气的水分含量值，测出的水分含量值与储存的标准数值比较，如果数值在允许范围内，分析仪会自动调整校准，如果数值超出允许范围，会发出报警信号，需更换水分发生器。
微量水分析仪特点：
1.采用通用内绕式玻璃电解池(内径0.8mm极距0.08mm或内径1.0极距0.1)，膜层附着均匀、牢固、不流失、响应快，吸收效率高，使用寿命长，正常情况下，可终身使用。
2.采用气流系统，应用旁通流量自动调节新技术，增加了三种功效：安全功效：当系统压力达到设定压力时，旁通阀自动打开，从而保证了高压气源检测中，仪器不会因气源阀泄漏或不慎的测量操作所损伤。自动调节功效：当气源压力变化时，旁通阀能自动开大或关小，使测量流量始终保持稳定，从而保证测量结果，不受气源变化的影响。自动关闭功效：当气源关闭时，旁通阀自动关闭，以防止大气水份直接扩散到电解池。
3.管路全部采用特制憎水不锈钢软性管，气体在入检测池前、增设了入口滤器，在池尾又设置一道防逆滤器，不仅大大延长了电解池的使用周期，而且仪器的快速和准确性无明显影响。
4.本底检测，采用封闭法，操作简单。
5.电解池恒温，保证了仪器在较低的环境温度下，仍具有较快的响应速度。
6.有特制高压气体取样器和憎水不锈钢软性取样管路。
